Кремний - материал наноэлектроники., Герасименко Н.Н., Пархоменко Ю.Н.

Кремний - материал наноэлектроники.

Аннотация

Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях.

Авторы: Герасименко Н.Н. Пархоменко Ю.Н.

Категории: Электроника

Формат: djvu

Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур (ГФЭ, МЛЭ, ХОГФ, ионный синтез). Рассмотрены технологические, электрические и оптические свойства систем Ge/Si и GeSi/Si (квантовые точки, квантовые проволоки и тонкие пленки). Отдельно рассмотрены возможности моделирования квантовых свойств и энергетического спектра кремниевых наносистем и приборов (нанотранзисторы, одноэлектронные транзисторы и т. д. ).