Практикум по химии и технологии полупроводников. , Анохин В.З.

Практикум по химии и технологии полупроводников.

Аннотация

В книге дано описание лабораторных работ по химии и технологии полупроводников. Пособие предназначено для изучения основных методов физико-химических исследования конденсированных систем (ДТА, тензиметрические методы, построение P-T-x диаграмм, методы микроструктурного анализа и микротвердости), различных методов синтеза, кристаллизационной очистки и выращивания монокристаллов полупроводниковых соединений.

Авторы: Анохин В.З.

Категории: Химия

Формат: djvu

Книга знакомит с основными технологическими операциями в производстве полупроводниковых приборов (окисление, диффузия, эпитаксия, травление). В каждой лабораторной работе дано теоретическое введение, приведены схемы приборов и оборудования, методы количественной обработки экспериментальных результатов.